ZH系列等离子体材料工作站PECVD

工作原理：

采用等离子体材料工作站，低真空条件下，在射频13.56 MHz作用下产生高活性等离子体，从而实现材料生长、材料表界面改性或材料物相掺杂的一种先进材料制备和材料掺杂改性技术。

技术优势：

1.1000瓦等离子功率设计，实现其他等离子体设备不具备的材料制备功能；

2.突破了气、固、液多相等离子技术，实现了多元等离子体及其材料制备和改性；

3.发明了原位等离子体装置，突破了空气敏感、易氧化物质的等离子体制备和；

4.改性，实现了锂、钠、钾等金属负极和硫系固体电解质的等离子体改性；

5.同时适用于常规材料和空气敏感物质，提供与设备匹配的材料制备和改性技术；

技术参数：